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Mikroelektronik-Experten aus Brandenburg, Berlin, Sachsen und Thüringen an der TH Wildau
Am Dienstag, dem 20. November 2018, fand an der Technischen Hochschule Wildau der 8. Workshop zum Thema „Tiefes Siliziumätzen“ statt. Dabei befassten sich mehr als 20 Wissenschaftler von Forschungsinstituten, Hochschulen und der Halbleiterindustrie aus den Ländern Brandenburg, Berlin, Sachsen und Thüringen in Vorträgen und Diskussionen mit der Herstellung sehr tiefer Strukturen in Siliziumwafern im Bereich von 10 bis 750 Mikrometer.
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